확산 및 이온 주입 < 확산과 이온 주입의 차이는 확산과 이온 주입이 무엇인지 이해하면 이해할 수 있습니다. 우선, 확산 및 이온 주입은 반도체와 관련된 두 가지 용어라고 언급해야합니다. 그들은 반도체에 도펀트 원자를 도입하는 데 사용되는 기술입니다. 이 기사에서는 두 가지 프로세스, 주요 차이점, 장점 및 단점에 대해 설명합니다.
확산이란 무엇입니까? 확산은 반도체에 불순물을 도입하는 데 사용되는 주요 기술 중 하나이다. 이 방법은 원자 규모에서 도판 트의 움직임을 고려하며 기본적으로 농도 구배의 결과로 프로세스가 발생합니다. 확산 공정은 "
확산로
"라고 불리는 시스템에서 수행됩니다. 상당히 비싸고 정확합니다. 도펀트 에는 기체, 액체 및 고형물의 3 가지 주원료가 있으며, 기체 소스
는이 기술에서 가장 널리 사용되는 것이다 (신뢰성 있고 편리한 출처: BF, 3999, PH 99999, AsH 99999). 이 공정에서, 소스 가스는 웨이퍼 표면상의 산소와 반응하여 도펀트 산화물을 생성한다. 다음으로, 그것은 실리콘으로 확산되어 표면 전체에 균일 한 도펀트 농도를 형성합니다. 액체 소스 는 버블 러 및 스핀 온 도펀트 두 가지 형태로 제공됩니다. 버블 러는 액체를 증기로 변환시켜 산소와 반응시킨 다음 웨이퍼 표면에 도펀트 산화물을 형성합니다. 도펀트상의 스핀은 도핑 된 SiO2 층의 건조 용액이다. 고체 소스는 두 가지 형태를 포함한다: 정제 또는 과립 형태 및 디스크 또는 웨이퍼 형태. 붕소 질화물 (BN) 디스크는 750 - 1100 ℃에서 산화 될 수있는 가장 보편적으로 사용되는 고체 공급원입니다.
반투막 (핑크색)에 걸친 농도 구배로 인해 물질 (파란색)이 단순하게 확산됩니다. 이온 주입이란 무엇입니까? 이온 주입은 반도체에 불순물 (도펀트)을 도입하는 또 다른 기술이다. 저온 기술입니다. 이것은 도펀트를 도입하기위한 고온 확산의 대안으로 고려된다. 이 공정에서, 고 에너지 이온 빔이 타겟 반도체를 겨냥한다. 이온과 격자 원자의 충돌은 결정 구조의 변형을 초래한다. 다음 단계는 어닐링이며, 왜곡 문제를 해결하기 위해 뒤 따른다.
이온 주입 기술의 몇 가지 이점은 깊이 프로파일과 주입량의 정밀한 제어, 표면 세정 절차에 덜 민감하고 포토 레지스트, poly-Si, oxide와 같은 마스크 재료의 폭 넓은 선택을 포함한다., 금속. 확산과 이온 주입의 차이점은 무엇입니까? 확산시, 입자는 고농도 영역에서 저농도 영역으로의 임의 운동을 통해 확산된다. 이온 주입 (ion implantation)은 기판에 이온을 주입하여보다 빠른 속도로 가속하는 것을 포함합니다.
• 장점:
확산으로 인한 손상이없고 일괄 처리가 가능합니다. 이온 주입은 저온 공정입니다. 그것은 당신이 정확한 복용량과 깊이를 제어 할 수 있습니다. 이온 주입은 산화물과 질화물의 얇은 층을 통해서도 가능합니다. 또한 짧은 프로세스 시간도 포함됩니다. 단점: 확산은 고용성으로 제한되며 고온 공정이다. 얕은 접합점과 낮은 용량은 확산 과정이 어렵습니다. 이온 주입은 어닐링 프로세스에 대한 추가 비용을 포함합니다. 확산은 등방성 도펀트 프로파일을 가지지 만 이온 주입은 이방성 도펀트 프로파일을 갖는다. 요약:
이온 주입과 확산 확산 및 이온 주입은 반도체의 불순물을 실리콘 (Si-Si)에 도입하여 대다수의 캐리어 및 층의 저항을 제어하는 두 가지 방법이다. 확산시 도판 트 원자는 농도 구배를 통해 표면에서 실리콘으로 이동합니다. 그것은 대체 또는 간질 확산 메커니즘을 통해 이루어진다. 이온 주입에서, 도핑 원자가 강력한 이온 빔을 주입하여 실리콘에 강제로 추가됩니다. 확산은 고온 프로세스이지만 이온 주입은 저온 프로세스입니다. 도펀트 농도 및 접합 깊이는 이온 주입시 제어 될 수 있지만, 확산 공정에서 제어 될 수는 없다. 확산은 등방성 도펀트 프로파일을 가지지 만 이온 주입은 이방성 도펀트 프로파일을 갖는다. 엘리자베스 2424 (CC BY-SA 3.0)에 의한 반투막 (핑크색)에 걸친 농도 구배으로 인한 물질의 간단한 확산 (청색)
